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中國(guó)電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)半導(dǎo)體材料分會(huì)整理了國(guó)內(nèi)主要的幾家碳化硅襯底研制單位的信息，如下所示：

中電科半導(dǎo)體材料有限公司于2019年03月28日成立，中電科半導(dǎo)體材料有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)材料公司），于2019年3月28日在天津注冊(cè)成立，由集團(tuán)公司主導(dǎo)，由電科2所控股的山西爍科新材料有限公司、電科13所控股的河北普興電子科技股份有限公司、電科46所控股的中電晶華（天津）半導(dǎo)體材料有限公司以及電科55所控股的南京國(guó)盛電子有限公司構(gòu)成，同時(shí)托管電科46所。

中電科半導(dǎo)體材料公司旗下的山西爍科晶體有限公司的保障部經(jīng)理周立平介紹：“碳化硅產(chǎn)業(yè)基地一期的300臺(tái)單晶生產(chǎn)設(shè)備，具備年產(chǎn)7.5萬(wàn)片碳化硅單晶襯底的產(chǎn)能，年收入在3億元以上。項(xiàng)目建成后，將具備年產(chǎn)10萬(wàn)片4-6英寸N型碳化硅單晶晶片、5萬(wàn)片4-6英寸高純半絕緣型碳化硅單晶晶片的生產(chǎn)能力，年產(chǎn)值可達(dá)10億元。”

山東天岳先進(jìn)科技股份有限公司成立于2010年11月，是一家國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的寬禁帶（第三代）半導(dǎo)體襯底材料生產(chǎn)商，主要從事碳化硅襯底的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售，產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于電力電子、微波電子、光電子等領(lǐng)域。從2019年8月到2020年11月，山東天岳歷經(jīng)了5輪融資。2020年12月，山東天岳公司宣布首次公開(kāi)發(fā)行股票并上市接受輔導(dǎo)。

中科鋼研是由國(guó)務(wù)院國(guó)資委于2016年批復(fù)成立的新型央企控股混合所有制企業(yè)。未來(lái)3到5年時(shí)間，中科鋼研將與其戰(zhàn)略合作伙伴聯(lián)合創(chuàng)設(shè)的國(guó)宏中宇科技發(fā)展有限公司（下稱(chēng)“國(guó)宏中宇”）建設(shè)成以上海總部基地為核心，擁有國(guó)內(nèi)外多個(gè)碳化硅晶體材料、碳化硅微粉、碳化硅電子電力芯片生產(chǎn)基地，以碳化硅半導(dǎo)體材料為代表，聚集第三代半導(dǎo)體材料及其應(yīng)用技術(shù)與產(chǎn)品的企業(yè)集團(tuán)。

中科鋼研與國(guó)宏華業(yè)在引進(jìn)日本升華法（PVT），高溫化學(xué)氣相沉積法（HTCVD）及俄羅斯電阻加熱升華法等國(guó)際一流碳化硅長(zhǎng)晶工藝技術(shù)與裝備的基礎(chǔ)上，通過(guò)三年來(lái)的技術(shù)消化吸收再創(chuàng)新，通過(guò)工藝建模、數(shù)值模擬、設(shè)備集成、工藝試驗(yàn)等方面的系統(tǒng)性工作，在碳化硅長(zhǎng)晶專(zhuān)用裝備、碳化硅高純度原料合成、碳化硅單晶生長(zhǎng)及襯底片加工工藝方面取得了較大進(jìn)展，形成了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的以碳化硅單晶生長(zhǎng)核心工藝技術(shù)為代表的完整工藝技術(shù)體系。

2020年，江蘇超芯星公司簽約南京江北新區(qū)。該公司規(guī)劃三年內(nèi)實(shí)現(xiàn)6英寸碳化硅襯底年產(chǎn)3萬(wàn)片，未來(lái)還將在SiC襯底產(chǎn)品的基礎(chǔ)上，將進(jìn)一步研發(fā)SiC切磨拋工藝，打造國(guó)內(nèi)SiC行業(yè)標(biāo)桿企業(yè)。

另外，據(jù)其官網(wǎng)顯示，該公司也對(duì)HTCVD法制備SiC的技術(shù)路線十分感興趣。目前，已經(jīng)研制出HTCVD碳化硅(SiC)單晶生長(zhǎng)設(shè)備。

2019年8月4日晚間，露笑科技發(fā)布公告稱(chēng)，全資子公司內(nèi)蒙古露笑藍(lán)寶石近日與國(guó)宏中宇科技發(fā)展有限公司簽訂了《碳化硅長(zhǎng)晶成套設(shè)備定制合同》，內(nèi)蒙古露笑藍(lán)寶石將為國(guó)宏中宇提供80套碳化硅長(zhǎng)晶爐成套設(shè)備，合同總金額約1.26億元。

2019年11月26日，露笑科技發(fā)布公告稱(chēng)，公司與中科鋼研節(jié)能科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“中科鋼研”）、國(guó)宏中宇科技發(fā)展有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“國(guó)宏中宇”）簽署了《中科鋼研節(jié)能科技有限公司與國(guó)宏中宇科技發(fā)展有限公司與露笑科技股份有限公司碳化硅項(xiàng)目戰(zhàn)略合作協(xié)議》（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“戰(zhàn)略合作協(xié)議”），協(xié)議期限為兩年，由中科鋼研主導(dǎo)工藝技術(shù)與設(shè)備研發(fā)工作，國(guó)宏中宇主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目建設(shè)、運(yùn)營(yíng)與市場(chǎng)銷(xiāo)售工作，露笑科技主導(dǎo)設(shè)備制造、項(xiàng)目投融資等工作并全程深入?yún)⑴c各項(xiàng)工作，通過(guò)各方的密切合作將碳化硅項(xiàng)目建設(shè)成為世界級(jí)的第三代半導(dǎo)體材料領(lǐng)軍企業(yè)，根據(jù)國(guó)宏中宇碳化硅產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目的近期發(fā)展規(guī)劃，露笑科技及（或）其控股企業(yè)將為國(guó)宏中宇主導(dǎo)的碳化硅產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目定制約200臺(tái)碳化硅長(zhǎng)晶爐，設(shè)備總采購(gòu)金額約3億元。

2020年4月13日，露笑科技發(fā)布了定增預(yù)案，擬非公開(kāi)發(fā)行股份總數(shù)不超過(guò)4.53億股，集資金總額不超過(guò)10億元用于新建碳化硅襯底片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目、碳化硅研發(fā)中心項(xiàng)目等。

2020年7月30日，露笑科技子公司浙江露笑碳硅晶體有限公司新建碳化硅襯底片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目在浙江紹興諸暨開(kāi)工。該項(xiàng)目計(jì)劃總投資6.95億元，生產(chǎn)碳化硅襯底片等產(chǎn)品。

2020年8月9日，露笑科技發(fā)布公告稱(chēng)，公司于8月8日與合肥市長(zhǎng)豐縣人民政府簽署了戰(zhàn)略合作框架協(xié)議，將與合肥市長(zhǎng)豐縣人民政府在合肥市長(zhǎng)豐縣共同投資建設(shè)第三代功率半導(dǎo)體（碳化硅）產(chǎn)業(yè)園。

該產(chǎn)業(yè)園將落地合肥市長(zhǎng)豐縣，包括但不限于碳化硅等第三代半導(dǎo)體的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目，包括碳化硅晶體生長(zhǎng)、襯底制作、外延生長(zhǎng)等的研發(fā)生產(chǎn)，項(xiàng)目投資總規(guī)模預(yù)計(jì)高達(dá)100億元。

安徽微芯長(zhǎng)江半導(dǎo)體材料有限公司是上海申和熱磁電子有限公司的子公司。該公司SiC項(xiàng)目落戶銅陵經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)，項(xiàng)目投資13.50億人民幣，占地100畝，新建廠房建筑使用面積3.2萬(wàn)平，包括碳化硅晶體生長(zhǎng)車(chē)間、晶圓加工車(chē)間、研發(fā)中心、動(dòng)力廠房、輔助用廠房等。

項(xiàng)目以節(jié)能環(huán)保，4&6寸工藝兼容的自動(dòng)化產(chǎn)線為實(shí)施要點(diǎn)，建設(shè)工期4年，項(xiàng)目從2020年10月起至2024年10月止，計(jì)劃2021年3季度完成廠房建設(shè)和設(shè)備安裝調(diào)試，2021年12月底完成中試并開(kāi)始試銷(xiāo)，投產(chǎn)后前3年生產(chǎn)負(fù)荷分別為33%、67%、100%。達(dá)成后預(yù)計(jì)年產(chǎn)4英寸碳化硅晶圓片3萬(wàn)片、6英寸12萬(wàn)片。

南砂晶圓公司是一家聚焦第三代半導(dǎo)體碳化硅單晶材料和相關(guān)襯底片、外延片的高新技術(shù)企業(yè)。該公司由原深圳第三代半導(dǎo)體研究院副院長(zhǎng)王垚浩博士牽頭，引入由山東大學(xué)徐現(xiàn)剛教授作為帶頭人，開(kāi)展第三代半導(dǎo)體材料——碳化硅單晶材料的研發(fā)、中試和后續(xù)量產(chǎn)等工作。

2020年7月該公司簽約廣州南沙區(qū)，規(guī)劃投資9億元，達(dá)產(chǎn)后年產(chǎn)各類(lèi)襯底片和外延片共20萬(wàn)片。

作為L(zhǎng)ED領(lǐng)頭羊企業(yè)的三安光電對(duì)碳化硅襯底材料的研制高度重視，很早就開(kāi)始各各方面工作的布局。據(jù)內(nèi)部人士透露，目前三安光電內(nèi)部有多個(gè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)并行攻關(guān)碳化硅襯底制備技術(shù)。